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集成的光信號(hào)想要實(shí)現(xiàn)多種功能,都離不開基本光學(xué)元件的小型化,例如波導(dǎo)、分路器、光柵和光開關(guān)。這也意味著需要一種能實(shí)現(xiàn)高分辨率制造的方法。 目前已存在幾種用于亞波長高分辨率制造的技術(shù),例如直接激光寫...
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